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/ detailed descriptionEDI超純水技術具有技術操作簡便,是清潔生產技術,在微電子工業、電力工業、醫藥工業、化工工業和實驗室等領域日趨廣泛的應用。
受成本、環境和質量因素的影響, 超純水的生產工藝在近幾十年內經歷了很多變化。一個趨勢特別明顯,即減少對離子交換(IX)的依賴程度,其目的在于將化學藥品使用減少到低,并提高水的利用率。
反滲透(RO)技術能將水中95-98的離子去除,從而大大減少了酸堿的用量,但還不能完全不使用化學藥品。為了制備超純水,通常采用反滲透+混床工藝。混床離子交換技術一直作為超純水制備的標準工藝。由于其需要周期性的再生,在再生過程中使用相應的化學藥品(酸堿),已無法滿足現代工業清潔生產和環保的需要。于是將電滲析技術和離子交換技術有機結合形成的EDI技術成為水處理技術的一場技術。
電去離子(Electrodeionization 簡稱EDI)是將電滲析膜分離技術與離子交換技術有機地結合起來的一種新的制備超純水(高純水)的技術,它利用電滲析過程中的現象對填充在淡水室中的離子交換樹脂進行電化學再生。
EDI膜堆主要由交替排列的陽離子交換膜、濃水室、陰離子交換膜、淡水室和正、負電組成。在直流電場的作用下,淡水室中離子交換樹脂中的陽離子和陰離子沿樹脂和膜構成的通道分別向負和正方向遷移,陽離子透過陽離子交換膜,陰離子透過陰離子交換膜,分別進入濃水室形成濃水。同時EDI進水中的陽離子和陰離子跟離子交換樹脂中的氫離子和氫氧根離子交換,形成超純水(高純水)。超電流使水電解產生的大量氫離子和氫氧根離子對離子交換樹脂進行連續的再生。傳統的離子交換,離子交換樹脂飽和后需要化學間歇再生。而EDI膜堆中的樹脂通過水的電解連續再生,工作是連續的,不需要酸堿化學再生。
天宇純水設備設計圖(部分展示):
超純水水質參考標準:
A:需要用戶注意的是,分析數據通常依賴于儀器和技術。因此,表1的數字只是基線。每當半導體行業開發新的線寬時,應對此表進行修訂。
B:類型E-1.3中顯示的值是將國際半導體技術發展藍圖中己知污染物的風險因素與當前半導體加工中的相關線寬的生產制程進行校準的結果,在某些情況下這些值可能會與類型E-1.2中的值不同。用戶如果對E-1.2型水使用更高數值,可以放心使用。
除電阻率外,所有值均等于或小于。
C:硼僅作為監測離子交換床的操作參數進行監測。
備注:以上數據根據英文版ASTM D 5127-2018翻譯而成,如有偏差請以英文版原文為準。
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