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/ detailed descriptionEDI超純水技術(shù)具有技術(shù)操作簡便,是清潔生產(chǎn)技術(shù),在微電子工業(yè)、電力工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、化工工業(yè)和實驗室等領(lǐng)域日趨廣泛的應(yīng)用。
受成本、環(huán)境和質(zhì)量因素的影響, 超純水的生產(chǎn)工藝在近幾十年內(nèi)經(jīng)歷了很多變化。一個趨勢特別明顯,即減少對離子交換(IX)的依賴程度,其目的在于將化學(xué)藥品使用減少到低,并提高水的利用率。
反滲透(RO)技術(shù)能將水中95-98的離子去除,從而大大減少了酸堿的用量,但還不能完全不使用化學(xué)藥品。為了制備超純水,通常采用反滲透+混床工藝。混床離子交換技術(shù)一直作為超純水制備的標(biāo)準(zhǔn)工藝。由于其需要周期性的再生,在再生過程中使用相應(yīng)的化學(xué)藥品(酸堿),已無法滿足現(xiàn)代工業(yè)清潔生產(chǎn)和環(huán)保的需要。于是將電滲析技術(shù)和離子交換技術(shù)有機(jī)結(jié)合形成的EDI技術(shù)成為水處理技術(shù)的一場技術(shù)。

電去離子(Electrodeionization 簡稱EDI)是將電滲析膜分離技術(shù)與離子交換技術(shù)有機(jī)地結(jié)合起來的一種新的制備超純水(高純水)的技術(shù),它利用電滲析過程中的現(xiàn)象對填充在淡水室中的離子交換樹脂進(jìn)行電化學(xué)再生。
EDI膜堆主要由交替排列的陽離子交換膜、濃水室、陰離子交換膜、淡水室和正、負(fù)電組成。在直流電場的作用下,淡水室中離子交換樹脂中的陽離子和陰離子沿樹脂和膜構(gòu)成的通道分別向負(fù)和正方向遷移,陽離子透過陽離子交換膜,陰離子透過陰離子交換膜,分別進(jìn)入濃水室形成濃水。同時EDI進(jìn)水中的陽離子和陰離子跟離子交換樹脂中的氫離子和氫氧根離子交換,形成超純水(高純水)。超電流使水電解產(chǎn)生的大量氫離子和氫氧根離子對離子交換樹脂進(jìn)行連續(xù)的再生。傳統(tǒng)的離子交換,離子交換樹脂飽和后需要化學(xué)間歇再生。而EDI膜堆中的樹脂通過水的電解連續(xù)再生,工作是連續(xù)的,不需要酸堿化學(xué)再生。
天宇純水設(shè)備設(shè)計圖(部分展示):

超純水水質(zhì)參考標(biāo)準(zhǔn):


A:需要用戶注意的是,分析數(shù)據(jù)通常依賴于儀器和技術(shù)。因此,表1的數(shù)字只是基線。每當(dāng)半導(dǎo)體行業(yè)開發(fā)新的線寬時,應(yīng)對此表進(jìn)行修訂。
B:類型E-1.3中顯示的值是將國際半導(dǎo)體技術(shù)發(fā)展藍(lán)圖中己知污染物的風(fēng)險因素與當(dāng)前半導(dǎo)體加工中的相關(guān)線寬的生產(chǎn)制程進(jìn)行校準(zhǔn)的結(jié)果,在某些情況下這些值可能會與類型E-1.2中的值不同。用戶如果對E-1.2型水使用更高數(shù)值,可以放心使用。
除電阻率外,所有值均等于或小于。
C:硼僅作為監(jiān)測離子交換床的操作參數(shù)進(jìn)行監(jiān)測。
備注:以上數(shù)據(jù)根據(jù)英文版ASTM D 5127-2018翻譯而成,如有偏差請以英文版原文為準(zhǔn)。
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