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/ detailed descriptionEDI 膜堆將電滲析技術與離子交換技術相結合,利用陰、陽離子交換膜、離子交換樹脂、淡、濃水分離室等部件組成工作單元,依據產水量組裝成各種型號的膜堆,在外加直流電場驅動下實現水的純化,其有效脫鹽率可達 99.9,經實際運行,產水水質穩定,可以連續生產高達高達 16~18 MΩ·cm 以上的超純水。
EDI 膜堆去除水中離子是通過內置的離子交換樹脂進行的。其應用如下:(以 Na + 代表陽離子,以 Cl - 代表陰離子)
R-OH + Cl - → R-Cl + OH -
R-H + Na + → R-Na + H +
由于受 EDI 膜堆內離子交換樹脂填充容量,離子交換樹脂在使用一段時間后會逐漸飽和,因此離子交換樹脂須再生后方可繼續使用。
EDI 膜堆是由數個濃水室、淡水室組合單元疊加構成的。
濃水室——兩個淡水室相連之間由陰、陽離子交換膜片組成的,用以收集濃水的區域稱為濃水室。
淡水室——由在陰、陽離子交換膜片之間填充混合樹脂,用以制造淡水的區域稱為淡水室。
電板——用于在膜堆運行中產生電場作用的通電導板,稱為電板。通常分為正和負,位于膜堆的兩端。
天宇純水設備設計圖(部分展示):
超純水水質參考標準:
A:需要用戶注意的是,分析數據通常依賴于儀器和技術。因此,表1的數字只是基線。每當半導體行業開發新的線寬時,應對此表進行修訂。
B:類型E-1.3中顯示的值是將國際半導體技術發展藍圖中己知污染物的風險因素與當前半導體加工中的相關線寬的生產制程進行校準的結果,在某些情況下這些值可能會與類型E-1.2中的值不同。用戶如果對E-1.2型水使用更高數值,可以放心使用。
除電阻率外,所有值均等于或小于。
C:硼僅作為監測離子交換床的操作參數進行監測。
備注:以上數據根據英文版ASTM D 5127-2018翻譯而成,如有偏差請以英文版原文為準。
工藝流程圖:
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